国信证券股份有限公司
关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2019 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
国信证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“国信证券”）作为沈阳
芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）首次公开发行
股票并在科创板上市的保荐机构，履行持续督导职责，根据《证券发行上市保荐
业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的
监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》和《上海证券交易所上市
公司募集资金管理办法（2013 年修订）》等规范性法律文件的要求，对芯源微
2019 年度募集资金存放与使用情况进行了核查，核查情况及意见如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首
次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]2335 号）同意注册，公司于 2019
年 12 月 10 日向社会公开发行人民币普通股（A 股）2100 万股，每股发行价为
26.97 元，应募集资金总额为人民币 566,370,000.00 元，根据有关规定扣除发行
费用（不含增值税）60,625,896.22 元（其中保荐承销费（不含增值税）48,246,650.94
元已在募集资金中扣除）后，实际募集资金净额为 505,744,103.78 元，实际到账
金额为 518,123,349.06 元。以上募集资金已于 2019 年 12 月 10 日到位，募集资
金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字
[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2019 年度，公司募集资金使用情况为：（1）上述募集资金到账前，截至 2019
年 12 月 10 日止，公司利用自筹资金对募集资金项目累计已投入 14,423,442.00
元；公司使用自筹资金已支付发行费用（不含增值税）2,597,169.81 元，将于董
事会审议批准后进行置换。（2）直接使用超募资金支付发行费用（不含增值税）
8,283,018.87 元。2019 年度公司累计使用募集资金 8,283,018.87 元，募集资金余
额为 509,840,330.19 元，支付银行手续费（不含增值税）193.92 元，募集资金专
用 账 户 利 息 收 入 为 56,047.38 元 ， 使 用 暂 时 闲 置 募 集 资 金 购 买 理 财 产 品
1
240,000,000.00 元 ， 募 集 资 金 专 用 账 户 2019 年 12 月 31 日 余 额 合 计 为
269,896,183.65 元。
二、募集资金管理情况
公司根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规
定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于 2019 年 4 月 24 日召开 2019 年第
三次临时股东大会，审议通过《关于制定的议案》。《募
集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规
定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
2019 年 12 月 11 日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建
设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和
国信证券签署《募集资金专户存储三方监管协议》以下简称“《三方监管协议》”）。
公司于 2019 年 12 月 11 日在中信银行沈阳和平支行开设募集资金专项账户（账
号 8112901012900643057），于 2019 年 12 月 11 日在中国建设银行沈阳城内支
行开设募集资金专项账户（账号 21050139000800001255），于 2019 年 12 月 11
日在招商银行沈阳浑南西路支行开设募集资金专项账户（账号
124904600110111）。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存
储三方监管协议(范本)》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。
截至 2019 年 12 月 31 日止，募集资金存储情况如下：
金额单位：人民币元
银行名称 银行帐号 余额
中信银行沈阳和平支行 8112901012900643057 19,195,158.39
中国建设银行沈阳城内支行 21050139000800001255 238,629,172.34
招商银行沈阳浑南西路支行 124904600110111 12,071,852.92
合 计 - 269,896,183.65
三、2019 年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2019 年 12 月 31 日止，公司尚未使用募集资金投资项目的募集资金款
项，使用超募资金支付发行费用（不含增值税）8,283,018.87 元，具体使用情况
详见附表 1：募集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
2
截至 2019 年 12 月 31 日，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中
心”募集资金项目累计已投入 14,034,042.00 元，对“高端晶圆处理设备产业化”
募集资金项目累计已投入 389,400.00 元，以上预先投入金额尚未置换。
2020 年 4 月 24 日，公司召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第
七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，
同意公司使用募集资金 14,423,442.00 元置换预先投入募投项目的自筹资金。公
司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意
的核查意见。上述以募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的情况，已经容诚
会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈
阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证
报告》。
（三）对闲置募集资金进行现金管理情况
2019 年 12 月 25 日，公司召开第一届董事会第十三次会议和第一届监事会
第六次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意
公司使用额度不超过 46,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用
期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，
可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了
同意的核查意见。
闲置募集资金现金管理情况详见附表 2：闲置募集资金投资相关产品情况
表。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2019 年 12 月 31 日止，公司募集资金投资项目未发生变更情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募
集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的
结论性意见
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为：芯源微 2019 年度《募集资金年
度存放与使用情况专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第 2
3
号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》（证监会公告[2012]44 号）及
交易所的相关规定编制，公允反映了芯源微 2019 年度募集资金实际存放与使用
情况。
七、保荐机构核查工作
保荐机构通过资料审阅、访谈沟通等多种方式，对芯源微募集资金的存放、
使用及募集资金投资项目实施情况进行了核査。主要包括：査阅公司募集资金存
放银行对账单、募集资金支付凭证、中介机构相关报告、募集资金使用情况的相
关公告等资料，并与公司相关人员沟通交流等。
八、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：芯源微 2019 年度募集资金存放与使用情况符合《上
海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理
办法（2013 年修订）》、公司《募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的
规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，
募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和
损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。
（以下无正文）
4
（本页无正文，为《国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有
限公司 2019 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签署页）
保荐代表人：
谭杰伦 张 毅
国信证券股份有限公司
年 月 日
5
附表 1：
2019 年度募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额 50,574.41 本年度投入募集资金总额 0
变更用途的募集资金总额 不适用
已累计投入募集资金总额 0
变更用途的募集资金总额比例 不适用
承诺投资项目 是否已变更 募集资金承 调整后投资 截至期末承 本年度投入金 截至期末累 截至期末累计投入 截至期末投入 项目达到预定可 本年度实现 是否达到 项目可行
项目，含部 诺投资总额 总额 诺投入金额 额 计投入金额 金额与承诺投入金 进度(%)(4)＝ 使用状态日期 的效益 预计效益 性是否发
分变更（如 (1) (2) 额的差额(3)＝ (2)/(1) 生重大变
有） (2)-(1) 化
高端晶圆处理
设备产业化项 否 23,860.73 23,860.73 23,860.73 0 0 -23,860.73 0 尚未完成 不适用 不适用 否
目
高端晶圆处理
设备研发中心 否 13,918.24 13,918.24 13,918.24 0 0 -13,918.24 0 尚未完成 不适用 不适用 否
项目
承诺投资项目
— 37,778.97 37,778.97 37,778.97 0 0 -37,778.97 0 — — — —
合计
未达到计划进度原因(分具体募投项目) 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
募集资金投资项目先期投入及置换情况 截至 2019 年 12 月 31 日，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计已投入 14,034,042.00
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元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计已投入 389,400.00 元，以上预先投入金额尚未置换。
2020 年 4 月 24 日，公司召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募
集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金 14,423,442.00 元置换预先投入募投项目的自筹
资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募
集资金置换预先投入募投项目自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字
[2020]110Z0064 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
2019 年 12 月 25 日，公司召开第一届董事会第十三次会议和第一届第六次监事会，审议通过了《关于使用闲置募
集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 46,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本
次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。闲置募集资金现金管理情况详见附表 2。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因 不适用
1、使用超募资金支付发行费 828.30 万元，其中支付律师费（不含增值税）254.72 万元，支付审计费（不含增值
税）231.13 万元，支付其他发行费用（不含增值税）342.45 万元；
2、在募集资金到位前公司已用自筹资金支付人民币 2,597,169.81 元，其中支付律师费（不含增值税）943,396.23
元，支付审计费（不含增值税）1,396,226.42 元，支付其他发行费用（不含增值税）257,547.16 元，拟与募集资金
预先投入募投项目一并置换。2020 年 4 月 24 日，公司召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会
募集资金其他使用情况
议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金 17,020,611.81 元
置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核
查意见。公司使用募集资金置换上述以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出
具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的
鉴证报告》。
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附表 2：
闲置募集资金投资相关产品情况表
（预期）年化收益
序号 受托方 产品类型 收益类型 投资金额（万元） 产品期限
率
1 中信银行沈阳和平支行 结构性存款 保本浮动收益 8,000 3.90%/4.30% 187 天
2 中信银行沈阳和平支行 结构性存款 保本浮动收益 3,000 3.60% 105 天
3 中信银行沈阳和平支行 结构性存款 保本浮动收益 1,000 3.35% 35 天
4 招商银行沈阳浑南西路支行 结构性存款 保本浮动收益 8,000 1.55%/3.50%/3.70% 180 天
5 招商银行沈阳浑南西路支行 结构性存款 保本浮动收益 4,000 3.60% 90 天
合计 24,000
8
